TSF600 高精密挠性线路系列干膜光阻剂是一种具备高解析度、高附着力的全水溶性干膜光阻剂,专用于高精密挠性线路板。具有优良的密着性、解像度,可有效地提高高密度线路板形成时的良品率。
特色及优点
高分辨率 -1-2 mil 线宽/线距
优质的贴合度-高良率
高附着力-高良率
特有的感光速度 -60-80 mj/cm2能量可达7级曝光尺(21级)
优越的剥膜性能和快的褪膜速度
项目
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单位
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TSF608
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备注
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厚度
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μm
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20
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感度*1
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mj/cm2
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65
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最短显影时间
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sec.
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11
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附着力*1*2(L/S=X/250)
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μm
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18
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解析度*1*2(L/S=X/X)
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μm
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18
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*1:TSF608(SST=6/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11)
*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短显影时间x2
*3:20μm 线路和SEM图像。